導語：俄羅斯烏克蘭之間的沖突正在引發對全球經濟的擔憂，半導體行業也受到影響。稀有氣體作為半導體制造的工藝氣體再次成為各界關注的焦點。
半導體大廠就紛紛發聲：不必擔心太多
韓國******的兩家半導體公司負責人表示“不必擔心太多”。相信進口來源多元化、擴大庫存等應對措施已做好充分準備。三星電子總裁李正培表示，“我們準備得很好。” SK海力士代表李錫熙則稱，“我們已經确保了很多庫存”，并表示不必太擔心。英特爾的發言人此前也表示，氖氣供應問題暫時未對公司業務造成影響。
美光官網2月15日發布最新公告稱：據我們了解，由于俄羅斯和烏克蘭之間持續的緊張關系，惰性氣體（尤其是氖氣）供應可能中斷的報道令半導體行業感到擔憂。但是，美光公司所有的惰性氣體都是進行多元化采購，氖氣供應主要來自歐盟、美國和亞洲的各個供應商。
美光表示:“他們保持适當的惰性氣體庫存以支持業務發展，與主要供應商簽訂了多項長期供應協議，并與他們密切合作以确保供應不間斷。我們将繼續利用我們多元化的采購和全球制造足迹，為客戶提供實現下一代産品所需的解決方案。"
據知情人士透露，美國白宮督促芯片公司要使其供應鍊多樣化，以防俄羅斯對美國出口限制的威脅采取報複行動，即阻止美國公司獲得氖氣在内的半導體關鍵材料。金融服務公司花旗的分析師Peter Lee表示：“内存（芯片）制造商目前持有這些關鍵氣體的6到8周庫存，高于4周的正常水平。這些氣體的供應高度依賴烏克蘭，該地區軍事行動造成的任何産出中斷都可能導緻半導體生産受到嚴重影響。
半導體制造中的稀有氣體（氖）
TrendForce集邦咨詢研究顯示，DUV準分子激光當中所需要的惰性混合氣體包含氖氣，且氖氣為混合氣體當中的必要氣體，難以取代。而半導體微影制程當中需要氖氣的制程主要為DUV曝光，制程節點涵蓋自8英寸晶圓180nm至12英寸晶圓1Xnm。晶圓代工方面，全球180~1Xnm産能占整體約75%，除有提供EUV先進制程的台積電（TSMC）及三星（Samsung）外，多數晶圓廠180~1Xnm營收占比超過九成，且自2020年起供貨極為緊張的零組件包含PMIC、Wi-Fi、RFIC、MCU等制造制程皆落在此區間。DRAM方面，除了美光（Micron）外，韓廠正逐步加大1alpha nm（使用EUV制程）占比，但目前仍有超過九成的産能采用DUV制程；而NAND Flash則全數采用DUV微影技術。
中國已經完全掌握稀有氣體精制技術
氣體圈子總經理任路2月14日接受《環球時報》記者采訪時表示，氖、氙、氪是半導體制造業不可缺少的工藝氣體，供應鍊的穩定性極其重要，因為這将會嚴重影響生産的連續性。他表示，目前，烏克蘭依然是全球氖氣的主要生産國之一，由于俄烏局勢不斷升級，氖氣供應鍊穩定性不免引起了全行業的恐慌。任路向《環球時報》記者分析說，這三種稀有氣體是鋼鐵産業的副産品，由空氣分離設備分離生産。前蘇聯鋼鐵等重工業規模龐大，因此稀有氣體的分離作為附屬産業一直也比較強大。前蘇聯解體後，即演化為由俄羅斯主要進行粗氣分離，烏克蘭境内的企業負責精制并向全球輸出的局面。
任路表示，雖然氖、氪、氙為半導體行業生産所必需，但是其絕對使用量并不高，作為鋼鐵行業的副産品，全球市場體量不是很大。正是在這種關注度不高的情況下，加之提純這些稀有氣體需要一定的技術門檻，且與鋼鐵行業規模深度綁定，多年來，全球市場逐漸形成了依賴于俄羅斯與烏克蘭組成的氖、氪、氙供應鍊。中國是全球鋼鐵大國，對于這些稀有氣體的純化技術已經實現了突破，生産工藝也比較成熟，不再是能夠‘卡中國脖子’的技術了。即便是發生極端情況，中國也完全可以組織緊急生産以保障國内的供應。
中國擁有強大的稀有氣體生産潛能
2月16日，盈德氣體集團宣布“領氙”計劃，持續擴大氪氙産能。“領氙”計劃将分期建設兩套氪氙精制裝置。首套裝置建成後或将成為亞太地區單體******的氪氙精制裝置，是稀有氣體領域的一項重要裡程碑。杭氧股份2月16日也在公共平台表示，衢州杭氧特種氣體有限公司2000Nm3/a氙氣、20000Nm3/a氪氣精煉提取裝置及其配套建設項目預計于今年下半年完工。寶武清潔能源有限公司與浙江新銳空分設備有限公司2021年7月共同投資組建寶銳特氣體有限公司，計劃在3年内實現稀有氣體産值翻倍，市場占有率達到************。
中國已經是全球稀有氣體主要供應國
根據氣體圈子發布的《2021年稀有氣體進出口信息》，中國已經成為全球稀有氣體供應的主要國家。2021年中國稀有氣體（氪氖氙）主要出口至東南亞和歐美等國家。氖氣出口量為6.5萬立方，60%出口至韓國；氪氣出口量為2.5萬立方，37%出口至日本；氙氣出口量為900立方，30%出口至韓國。
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